應用場景
製程優化、虛擬量測、維修預測
現況
面板是台灣重要產業之一,在全球供應鏈中佔有一席之地。然而,近年來,面板市場供需不平衡導致產能過剩且價格下跌,以及亞洲地區的低成本競爭對手,使得面板產業難以維持利潤。
挑戰
為因應這些挑戰,面板產業應提升其技術,創造與成熟製程的差異,包括下世代產品的開發與生產技術的精進,針對利基市場做差異化佈局。利用機器學習技術,可以實現面板製程的智能監控和設備故障預測,從而提高設備效率、降低維護成本,進一步提升生產良率。
關鍵製程品質特性預測
蝕刻等諸多關鍵製程顯著的影響製程良率與製造成本,建立關鍵製程參數掌握能力是提升職成能力的重要手段。
痛點分析
- 蝕刻工藝複雜:蝕刻劑的種類、濃度、溫度、壓力以及晶圓的材料等特性皆會影響到線寬的變化
- 缺乏即時反饋:檢測影響線寬變化的因子需要時間,因此製程中的變異可能會被忽視或是延遲反應,導致品質產生問題
- 依賴專業技術人員:依賴專業技術人員對製程進行監測和分析,需要大量時間和人力成本
成果效益
- 提高線寬結果的預測準確性,節省 30-50% 製程變異檢測時間
- 即時調整製程參數,降低產線上的廢品率,提升產品品質 15%
虛擬量測應用
部分檢測項目因檢測成本與時間,使用抽檢。
若透過 AI 進行虛擬量測,可大幅降低因品質異常批次造成的下游衍生品質損失成本。
痛點分析
- 人工抽檢成本高:過往透過投入大量人力進行抽測,人力成本和時間成本高
- 測量限制:某些製程或產品可能難以進行實際測量。例如:若產品檢驗為破壞性檢驗,則每次檢驗都會損壞產品
- 延誤反應時間:實際測量可能需要等待數小時或甚至更長時間才能獲得結果,導致反應時間延遲
成果效益
- 大幅減少實際測量的需求,提高生產效率 25%
- 提高產品設計和製程優化的速度和效率,降低開發成本 16%
- 降低製品缺陷率,提升產品品質 8%
設備預測性保養
面板產業需使用諸多物流與搬運設備,透過預測性保養提升設備稼動率,減少保養成本,進而優化整體製造成本。
痛點分析
- 設備無預警故障成本:除造成稼動率損失的成本外,異常的機況恐造成品質損失,甚者造成交期延宕
- 週期性保養成本:傳統週期性保養有諸多限制,在蒐集機台實際狀態資料,除可節省過度保養成本,亦可確保維修保養的有效性
成果效益
- 能快速有效地建模,減少 80% 分析時間
- 提高產品設計和製程優化的速度和效率,提升換線調參速度 20%
- 降低製品缺陷率,提升產品品質 6%